株式会社 守谷商会

熱転写装置

ファーストラミネーター MAII型は、感光性ドライフィルムのカバーフィルムを剥しながら、フォトレジスト・キャリアフィルムを常圧ホットロールにより加熱 / 加圧し、フォトレジスト層を接着面として基板の両面に連続的にラミネー卜する装置です。

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MAII-550

  • 有効400mm - 小サイズ基板、試作、実験用に
  • 電源は100V平行プラグでOK 特殊なコンセントは不要です

MAII-700MA

  • 有効550mm - スタンタードな生産機
  • 予熱装置とのドッキングも可能
  • 即納可能な標準在庫品です

特長

  • CAA併用※エアシリンダ加圧
    操作性に優れ、条件管理が確実。基板の厚さに関係なく常に設定した圧力でラミネートを行なうことができます。
  • コンパクトなデスクトップタイプ
    クリーンルームの限られたスペースに最適です。
  • PID制御デジタル温度調整計採用
    見やすいデジタル表示に加え、マイコンが温度偏差を修正するPIDオートチュー二ングでワンランク上の温度制御を可能にしました。ロール表面温度を検出しますから温度推移に素早く応答します。
  • コレットチャック式フィルム軸採用
    フィルム / 巻取コアの交換は工具のいらない着脱ワンタッチ。テンション設定は常に維持されますから作業毎の再調整は不要です。
  • 故障の少ないシンプルスタイル
    加えて、製造メーカーならではのサービス支援体制で、後々のメンテナンスも安心です。

※ファーストラミネーター MAII型は、エアシリンダとCAA(コンプレッションアジャストアーム) + 偏心カム連動レリースレバーの併用により加圧入力と開閉動作を分離させています。エアシリンダ直動式の場合、ロール位置は上下ストロークエンドの開 / 閉2点しか選択できませんが、MAllではレバーによる微調整が可能です。さらに、エアガ抜けたときもロールの上昇位置はカムにより保持されますから、ロールに負担が掛かりません。また、加圧ロールがアームの支点を中心に動くため、上下ロールの平行は常に維持されます。したがって、ロール交換等を行なったときにもスライド部の接触調整を行なう必要がありません。エアシリンダそのものの流量制御も不要です。


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MAII-700専用予熱装置
PHII-700型プレヒーター

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  • PHII-700は、基板を加熱しながらMAII-700型ラミネーターまで搬送する装置です。
  • フォトレジストの対被着面である基板側を予め一定の温度まで上げておくことで細線密着力を高め、同時に熱伝達口スの軽減による生産性の向上という効果が生まれます。

型式 : ホット口一ル型基板接触式
有効幅 : 570mm
基板長最小 : 150mm
基板厚 : 最大3mm

  • ユーテイリティ : AC200V三相(50/60Hz)5kW (約22A)
  • ロール構成 : 4本ロール二段加熱式(全ロールヒータ内蔵・表面シリコンゴムライニング)
  • ロール昇降 : 偏心カム連動レリースレバーによるワンタッチ式
  • 加熱方式 : ロール内蔵遠赤外線セラミックヒーター使用(1.2kWx4)
  • 温度設定範囲 : RT~180℃
  • 駆動 : DC100Wモーター
  • 変速範囲 : 0~3.4m/min
  • 搬送ロールコンベア / MAII設置ベース付

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