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光ヘテロダイン微小振動測定装置

本装置は微小振動する微小試料の振動量をレーザーを用いた「光ヘテロダイン法」により計測します。
変位測定ユニットと組み合わせることにより静止状態から100MHz迄の微小変位量を直読することができます。
またアニメーションソフトにより試料の振動モードを3次元的にアニメーション表示して、試料の振動解析をすることができます。

特長

  • 周波数安定化レーザー(安定度10−8)を使用しているため、通常レーザー(安定度10−6)に比べヘテロダイン検波した場合の精度(再現性)ははるかに良く、且つダイナミックレンジが広い。
  • 試料観察光軸と測定用レーザーの光軸が同一のため、測定点の位置決めが正確である。
  • 測定系の変更(縦振動、横振動)やレーザーパワー、光路の変更などサンプルに合わせた対応が可能。
  • 変位測定の場合、熱膨張を排除するためインバーブロックを使用。
  • お客様の要望によりオートフォーカス機構取付け可能。

用途

  • マイクロアクチュエーターの振動解析
  • 圧電素子、プリンターヘッドの振動解析
  • その他非接触による高周波(*40MHz)の振動解析
    *特別仕様

レーザー描画装置

本装置は光導波路パターニング用の描画装置で、He−Cdレーザー(波長442nm)を光源として微細描画を行なう装置です。描画動作はコンピューターで制御しますので高い位置精度で描画することができます。
またCADの標準ファイルフォーマットであるDXFファイルを描画用データとして採用していますので、そのデータをCADで簡単に製作することができます。

特長

  • 大気中で光波長オーダーの精度で加工が行なえます。
  • 分離型XYステージ
    XY2軸を分離することにより1軸ステージの性能を最大に発揮させ、この結果、描画パタンの位置精度、線幅精度、描画速度を向上させることができます。
  • スポットダンシング除去
    レーザーは光ファイバー式を使用しているためスポットダンシングは殆どありません。(特許申請中)
  • Man−Machine Interface操作
    Auto−Cad I/Fにより、マウス入力で直線と円弧との接続点での位置、傾斜を保証。 CADデータファイルと描画条件ファイルのみの設定のみで自動

ワークエリア 85mm X 85mm
描画線幅 1μm - 20μm
描画位置分解能0.1μm
つばぎ精度 ±0.15μm
描画速度 円、斜線50μm/sec
直線 200μm/sec
直線 1mm/sec
位置精度 円、斜線±0.15μm
直線 ±0.15μm
直線 ±1μm(目標値)

用途

  • 光導波路関連パターン
  • 回折光学素子
  • 光波長フィルターの集積化
  • マイクロマシンニング
  • マスクリペア

レーザースポット照射顕微鏡

本装置は、光記録媒体材料の記録特性を静的に評価する装置で、半導体レーザー光源を顕微鏡光学系に組み合わせて材料の表面に微小なスポット光を照射することにより、光書き込みを行い、更にその書き込み部位の反射率変化を測定することができます。
また、レーザー光源をサンプル特性に適した波長のものに交換することにより生物・医学などさまざまな分野での研究にも応用可能です。

特長

  • 各種の顕微鏡にレーザー照射ユニットを装着できます。
  • 対物レンズの選択でスポット径Φ1μm以下も可能です。
  • 照射レーザー各種が揃っています。 微小域の反射率の計測ができます。
  • コンピューターと接続することによりレーザー出力、照射位置の設定ができます。
  • 最大繰り返しパルスは0.05μsecと極めて速く設定されています。

用途

  • 光記録媒体の性能評価
  • 微小域での反射率計測
  • 生体の光刺激 生体の光反応解析
  • 光化学反応への応用
  • レーザートラピングへの応用
  • レーザーリペアへの応用

可搬型よう素安定化 He-Neレーザー

本装置は通産省工業技術院軽量研究所の指導により日本科学エンジニアリング(株)がレーザー管、よう素セル、制御回路に至るまで各要素技術を開発しました。また、1998年4月1日に同研究所において長さの特定標準器として採用されました。

特長

  • レーザー波長標準トレーサビリティの特定2次標準として利用可
  • 小型堅牢
  • 広い周囲温度環境で使用可能
  • 操作が容易

主な仕様

  • 1992年国際度量衛委員会(CIPM)勧告準拠
  • 発振周波数を不確かさ2.5x 10-11

磁気光学特性測定装置シリーズ

計測対象と磁気光学特性測定装置

キーワード 測定対象 得られる情報 該当機種
マイクロKerr効果 ・薄膜ヘッド、薄膜インダクタ
・MR、GDR膜
M-H特性 Hc、Hk、Hu
磁区構造
BH-918M
DDS/オプトロ/マイクロKerr ・薄膜ヘッド、薄膜インダクタ
・MR、GDR膜
・パターニング薄膜
M-H特性 Hc、Hk、Hu
磁区構造
動的微分磁化率
SKEW角分散
異方性分散
BH-918DM-A
ハードディスク磁気測定 ハードディスク材 Hc、角型比 Mr/Ms
配向性△H/Hc
BH-630HD
Kerr効果磁区観察 ・薄膜磁性体
・電磁鋼板
磁区観察M-Hループ Hc、Hk BH-818L
特殊Kerr効果 1.磁歪Kerr効果 ・アモルファス薄膜
・アモルファスワイヤー
・電磁鋼板
・電磁薄膜
外部応力、磁界印加時の磁区ドメイン観察
M-Hループ
BH-620-Y
2.高磁場Kerr効果 ・ハード材
・薄膜一般
磁区ドメイン観察
M-Hループ
BH-420G-TU
3.異方性分散測定 ・MR、GMR膜
・インダクティブ膜などのソフト材薄膜
容易軸方向の
分散マッピング
BH-600AD
表面磁気光学Kerr効果
(SMOKE)
薄膜磁性体
磁性体結晶
M-H特性、Hc、Hk
薄膜θkの依存性
楕円率
BH-620ST
波長可変Kerr効果 ・MO媒体
・MO磁気特性
M-H特性、Hc、θk、R
温度依存特性
BH-M800S
波長可変Faraday効果 光通信デバイス
センサー(結晶、薄膜結晶)
M-H特性、Hc、θf、T
温度依存特性
BH-600
垂直磁化膜Kerr効果 MO媒体
MO磁気特性
M-H特性、Hc、θk、R BH-813M
垂直磁化巻膜Faraday効果 光通信デバイス
センサー(結晶、薄膜結晶)
M-H特性、Hc、θf、T BH-810C-FR
光磁気媒体総合評価 MO媒体 Kerr、Faraday Loop
書込消去
BH-700LS
高磁気マイクロカー装置 希土類系磁気材料
その他硬質磁性材料
面内ドメイン観察 BLM-L920-DM
ヘルムホルツコイル、電磁石
加熱チャンバー
     

このシリーズはレーザー専門メーカーとしての長年の技術蓄積と多くの納入実績に裏付けされたもので、磁性体の面内並びに垂直に磁化された媒体を評価するものです。
印加磁場も低磁場から高磁場まで各種揃えており、先端技術の急速な進歩に合わせ、お客様の要求に応じ、特別仕様品等幅広く製作しております。