

| ワークエリア | 85mm X 85mm | |
|---|---|---|
| 描画線幅 | 1μm - 20μm | |
| 描画位置分解能 | 0.1μm | |
| つばぎ精度 | ±0.15μm | |
| 描画速度 | 円、斜線 | 50μm/sec |
| 直線 | 200μm/sec | |
| 直線 | 1mm/sec | |
| 位置精度 | 円、斜線 | ±0.15μm |
| 直線 | ±0.15μm | |
| 直線 | ±1μm(目標値) | |


| キーワード | 測定対象 | 得られる情報 | 該当機種 | |
|---|---|---|---|---|
| マイクロKerr効果 | ・薄膜ヘッド、薄膜インダクタ ・MR、GDR膜 |
M-H特性 Hc、Hk、Hu 磁区構造 |
BH-918M | |
| DDS/オプトロ/マイクロKerr | ・薄膜ヘッド、薄膜インダクタ ・MR、GDR膜 ・パターニング薄膜 |
M-H特性 Hc、Hk、Hu 磁区構造 動的微分磁化率 SKEW角分散 異方性分散 |
BH-918DM-A | |
| ハードディスク磁気測定 | ハードディスク材 | Hc、角型比 Mr/Ms 配向性△H/Hc |
BH-630HD | |
| Kerr効果磁区観察 | ・薄膜磁性体 ・電磁鋼板 |
磁区観察M-Hループ Hc、Hk | BH-818L | |
| 特殊Kerr効果 | 1.磁歪Kerr効果 | ・アモルファス薄膜 ・アモルファスワイヤー ・電磁鋼板 ・電磁薄膜 |
外部応力、磁界印加時の磁区ドメイン観察 M-Hループ |
BH-620-Y |
| 2.高磁場Kerr効果 | ・ハード材 ・薄膜一般 |
磁区ドメイン観察 M-Hループ |
BH-420G-TU | |
| 3.異方性分散測定 | ・MR、GMR膜 ・インダクティブ膜などのソフト材薄膜 |
容易軸方向の 分散マッピング |
BH-600AD | |
| 表面磁気光学Kerr効果 (SMOKE) |
薄膜磁性体 磁性体結晶 |
M-H特性、Hc、Hk 薄膜θkの依存性 楕円率 |
BH-620ST | |
| 波長可変Kerr効果 | ・MO媒体 ・MO磁気特性 |
M-H特性、Hc、θk、R 温度依存特性 |
BH-M800S | |
| 波長可変Faraday効果 | 光通信デバイス センサー(結晶、薄膜結晶) |
M-H特性、Hc、θf、T 温度依存特性 |
BH-600 | |
| 垂直磁化膜Kerr効果 | MO媒体 MO磁気特性 |
M-H特性、Hc、θk、R | BH-813M | |
| 垂直磁化巻膜Faraday効果 | 光通信デバイス センサー(結晶、薄膜結晶) |
M-H特性、Hc、θf、T | BH-810C-FR | |
| 光磁気媒体総合評価 | MO媒体 | Kerr、Faraday Loop 書込消去 |
BH-700LS | |
| 高磁気マイクロカー装置 | 希土類系磁気材料 その他硬質磁性材料 |
面内ドメイン観察 | BLM-L920-DM | |
| ヘルムホルツコイル、電磁石 加熱チャンバー |
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このシリーズはレーザー専門メーカーとしての長年の技術蓄積と多くの納入実績に裏付けされたもので、磁性体の面内並びに垂直に磁化された媒体を評価するものです。
印加磁場も低磁場から高磁場まで各種揃えており、先端技術の急速な進歩に合わせ、お客様の要求に応じ、特別仕様品等幅広く製作しております。