株式会社 守谷商会

半導体測定器・検査機、電子部品実装機

Lehighton Electronics, Inc.(リハイトン社)

非破壊式移動度測定器モデル1600シリーズ


半導体ウェーハの重要な特性評価項目であるキャリア移動度は、これまでホール測定による破壊検査でしか知ることが出来ませんでした。
この度、リハイトン社が開発に成功した1600型は、従来のホール測定に代わり非破壊で移動度、シート抵抗、シートチャージ密度の測定を可能にする画期的な装置です。

1600型は、そのマイクロ波および磁界の巧みな制御・処理により、2インチから6インチ(角型の場合は40ミリ角以上)ウェーハの移動度を非破壊で測定致します。
熟練技能を要求され、また測定に多大な影響を及ぼす電極形成が不要であり、誰にでも簡単に再現性の良い測定が可能です。

また、磁界制御とソフトウェア処理により、キャップ層がついたままの状態での測定も可能ですので、ホール測定用ウェーハ作成の為のプロセス装置運転が不要となり、実際に量産されているウェーハをそのまま測定し、測定後にその後の工程に使用する事が出来ます。
これらホール測定の為に使われる様々なリソースの費用、手間をお考え戴ければ1600型のもたらすメリットがいかに大きなものであるか御理解戴けるでしょう。

更に、ウェーハ保持部分のガイド刻印に従ってサンプルを順次セット戴く事※により、サンプル面内の移動度マッピングが可能です。(※測定点数については4"で5点、6"で9点が標準ですが、3"以下への対応や点数追加カスタマイズも可能。 またマッピングの自動化が可能なモデルもラインナップされています。)

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尚、測定精度に関しては、公的に証明された移動度の標準サンプルが存在しない為、リハイトン社ではASTM(American Society for Testing and Materials)のラウンドロビンにおいて非破壊式移動度測定とDCホール測定法との比較検討を進めております。


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