株式会社 守谷商会

半導体測定器・検査機、電子部品実装機

Lehighton Electronics, Inc.(リハイトン社)

非接触式シート抵抗測定機 モデル1500シリーズ


2インチから最大8インチまでのSiウェーハ、化合物半導体(GaAs 、GaN 、InP 等)エピウェーハを非接触・非破壊にてシート抵抗を測定します。

四探針方式で起こる、探針の接触汚染や接触具合による再現性の問題が解決されます。
ロボットを取り付ける事により、多数枚を迅速に計測処理する事が可能。
0.035 ~3000 Ω/□という広い範囲で優れた測定直線性を誇ります。
計測データを三次元グラフィックマップとしてPC モニター上でご覧になれます。

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システム例


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1510 卓上型
ロボット付きの1510RS (3 "から200mm )にアップグレード可能

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ロボット付き1510RS型
(測定ユニット部分)

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1510RP 型
ロボットは200mm までのウェーハを取り扱い可能

製品仕様


測定可能ウェーハ
  • GaAs ウェーハ、GaN (サファイア基板)等の化合物半導体(エピ、熱拡散又はイオン注入によりドープされた半絶縁ウェーハ)
  • シリコンウェーハ(バルクSi 、エピ、熱拡散、イオン注入、PoCl3等による高抵抗基板のドーピング均一性)
  • 薄膜メタライゼーション

パフォーマンス
(ASTM F673 準拠)

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150 点計測テスト5 回分の平均を基にしています。
データは均一にドープされたNIST 標準シリコンウェーハを使用して得たものです。
テストではマニュアルでハンドラーのレールにサンプルを置いており、ギャップを0.035 "に設定しました。
NIST標準ウェーハはキャリブレーション用に入手可能です。
リニアリティー
  • 0.035 ~3,000 Ω/□<±3 %
薄膜厚さ
  • 膜厚=バルク抵抗値(既値) / シート抵抗値(計測値)
計測性能
  • ドープされた基板厚さの名目上範囲は450 ~800 μm 。
  • 通常、0.035 "(0.889mm )ギャップを工場出荷前に事前にセットします。
  • より厚い基板に対応する為に調整可能なギャップです。
  • 2 ",3 "(75mm),4 "(100mm),6 "(150mm),8 "(200mm) はロボット計測が可能。(オプション)
各センサー寸法
  • HIレンジ / LOレンジ / XLレンジ  直径14mm
計測地点範囲
  • 最大300 点まで計測可能
  • 自動ドリフト補正
  • ソフトウェアで抵抗の測定範囲を選択可能
操作特徴
  • 高い空間解像度
  • 正確な電圧設定により高いリニアリティー、再現性のある結果が得られます
校正
  • コンピューター画面上で容易に操作できます。
  • ソフトウェア制御(マニュアルでの校正はありません)
  • 16 ビットシステム
コンピューター化
  • システムはWindows XP上で動作し、ネットワーク化が可能です。
  • 設定情報はユーザーによってデザインされたファイル名で保存できます。
  • ユーザー独自の計測点プランを作成できます。
  • 計測値、関連した計測点分布はグラフィック表示されます。
  • コンピューター、モニター、プリンターが含まれます。
  • 10/100 BASE- T イーサネットネットワーク接続

オプション


オプション
  • カセットTo カセット式ソーティング
  • 外部膜厚入力
  • ウェーハマッピング(2 次元等高線、3 次元グラフィック)
  • SPC (Statistical Process Control )統計管理ソフト
アクセサリー
  • 標準校正用Si ウェーハ
  • 3 ",4 "(100mm),6 "(150mm)ウェーハ用カセット2 -4 個
  • 8 "(200mm)用カセット2個
電源
  • 100 V AC ±10%50-60 Hz (220V 、117V 仕様も有り)
真空
  • 40- 60cm Hg

寸法


1500_sunpou.giflehighton1500_table2.png







測定例


1500_exp.gif


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