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半導体測定器・検査機

Lehighton Electronics, Inc.(リハイトン社)

非接触で半導体のシート抵抗、移動度、キャリア密度を測定!
米国Lehighton Electronics 社は、定評ある非接触式のシート抵抗測定機に加え、移動度およびキャリア密度までも非接触での測定を可能としました。
卓上式から面内自動マッピング可能なモデルまで取り揃え、素早く誰にでも簡単に電気特性評価が行えます。

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非接触式シート抵抗測定器 モデル1500シリーズ


2インチから最大8インチまでのSiウェーハ、化合物半導体(GaAs 、GaN 、InP 等)エピウェーハを非接触・非破壊にてシート抵抗を測定します。

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非破壊式移動度測定器 モデル1600シリーズ


半導体ウェーハの重要な特性評価項目であるキャリア移動度は、これまでホール測定による破壊検査でしか知ることが出来ませんでした。1600型は、従来のホール測定に代わり非破壊で移動度、シート抵抗、シートチャージ密度の測定を可能にする画期的な装置です。
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フラットパネル用非接触抵抗測定器 1700シリーズ


フィルムやシート状サンプルの抵抗、導電率を非接触で簡単に測定できます。

データはパソコンで表示、記録、管理が可能です。

FPDや太陽電池、平面照明などの先端材料開発に活用戴けるマニュアル式から、自動マッピング式、更にはインラインへの組み込みのご相談まで幅広く対応致します。

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キャリア濃度測定器・水銀プローブ


水銀プローブと組み合わせることにより、非破壊で深さ方向(X)に対するキャリア濃度(N)の測定を行います。 top_img4.jpg

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